-- 고성능 미니 LED 생산용 시스템
(상하이 2021년 6월 19일 PRNewswire=연합뉴스) 6월 17일, AMEC(Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China[http://www.amec-inc.com/ 에이멕)은 Prismo UniMax™ 시스템을 출시했다고 발표했다. UniMax는 고성능 미니 LED 생산을 위해 만든 유기 금속 화학 증착(Metal Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD) 장비로서 LED 제조업체가 생산성을 높이고, 소유 비용(cost of ownership, CoO)을 절감할 수 있도록 개발되었다.
이 시스템은 세계의 주요 GaN 기반 LED 제조업체가 사용 중인 에이멕의 Prismo MOCVD 제품 중 가장 최신 제품이며, 단일 시스템에서 최대 4개의 증착 챔버를 장착할 수 있고, 각 챔버는 독립적으로 제어 가능하다. UniMax 시스템은 혁신적인 국소 온도 조절 가열 시스템을 바탕으로 미니 LED 생산 시 우수한 파장 균일성, 반복성 및 신뢰도를 제공한다. 품질 균일성과 생산 안정성을 높이는 최적화된 샤워헤드와 생산량을 대폭 개선하고 소유 비용을 낮추는 대형 서셉터 등을 갖추고 있어, 164개의 4인치 또는 72개의 6인치 웨이퍼 공정을 한 번에 진행할 수 있다.
에이멕은 중국 내 주요 고객으로부터 Unimax에 대한 주문을 받았으며, 해외의 다른 많은 고객을 대상으로 평가를 진행 중이다. 이 장비는 에이멕 포트폴리오를 강화하고, 전 세계 LED 제조 업체에 미니 LED 생산 문제에 대해 새로운 해결책을 제시할 것으로 보인다.
LED 기반의 TV, 태블릿, 노트북, 모니터, 스마트폰, 자동차 디스플레이에 대한 적용 수요가 증가함에 따라, 미니 LED는 우수한 밝기, 정밀한 동적 반응속도 및 높은 대비율을 제공함으로써 디스플레이 품질을 크게 개선할 수 있는 신규 기술로 각광을 받고 있다. UniMax 시스템은 고객이 가지고 있는 미니 LED 생산 문제를 해결할 수 있도록 설계됐으며, 가장 중요한 요소인 우수한 파장 균일성과 신뢰도를 보장한다.
에이멕 회장 겸 CEO Gerald Yin박사는 "이미 입증된 자사의Prismo 플랫폼에서 진화된 핵심 기술을 적용한 UniMax 시스템은 고성능 미니 LED 생산을 위한 저비용의 효과적인 솔루션을 제시하는 가장 혁신적인 MOCVD 도구"라며, "중국과 세계 주요 LED 고객이 Prismo Unimax를 이용하여 평가하고 있는 것을 자랑스럽게 생각한다"고 말했다. 이어 그는 "이 설비는 엄격한 기술 요건을 충족할 뿐만 아니라, 낮은 소유 비용으로 높은 생산성까지 달성할 수 있다"면서, "예상보다 일찍 신규 미니MOCVD 시장이 생긴 것을 반갑게 생각한다. 앞으로 고객 및 파트너들과 협력함으로써, 미니 LED 기술과 MOCVD 시장 발전을 더욱 가속화 할 계획"이라고 설명했다.
에이멕은 중국의 첨단 반도체/LED 설비 업체로 독자적이고 다양한 설비 솔루션을 고객에게 제공하며, 고객의 혁신 제품 생산 및 이익 창출에 기여하고 있다. 회사의 식각(etch) 장비는 현재 5nm급 이상의 Logic 제품 생산, 120단 이상 NAND 제품 생산 등에 활용되고 있으며, MOCVD 설비는 전 세계 블루 LED 시장을 선도하고 있다. 식각과 MOCVD 분야에서, 1,800대 이상의 설비가 전 세계 약 77개 첨단 공장에서 사용 중이다. 에이멕의 본사는 중국 상하이에 위치하며, 난창과 샤먼, 그리고 국외에서는 한국, 일본, 싱가포르, 대만, 미국에서 지사를 운영 중이다.
