빌레리카, 매사추세츠주, 2015년 5월 5일 /PRNewswire/ -- 세마테크(SEMATECH)와 엑소지네시스(Exogenesis Corp.)가 엑소지네시스의 ANAB(Accelerated Neutral Atom Beam) 기술과 nAcceltm 가속화 입자 빔 장비 플랫폼을 상용화 하고자 전략적 연합을 체결했다. "칩 산업은 원자규모 프로세싱의 시대에 이르렀다. ANAB 애플리케이션들은 보다 통제되고 보다 효율적인 제조를 실현하며 반도체 기기들을 위한 새로운 기능을 연다"고 세마테크의 CEO이자 회장(President)인 론 골드블래트(Ron Goldblatt) 박사는 전했다.
세마테크와 엑소지네시스는 반도체 업계에 ANAB기술을 가져오고자 새로운 기업을 형성할 예정이다. 통합된 회로 제조에 집중했던 그 초기단계를 넘어, 해당 파트너들은 추가적인 기업들을 만들어나갈 수도 있는 기타 나노전자 업계 내 ANAB애플리케이션들을 탐구할 예정이다.
ANAB기술은 일부 나노미터들의 깊이에서 원자 수준의 통제와 함께 표면들을 수정하고 통제하기 위한 독특한 특허 받은 접근법이다. "ANAB의 성능 프로파일을 제공하는 다른 기술은 없다"고 엑소지네시스의 CEO이자 회장(President)인 리차드 스브루가(Richard Svrluga)는 전했다. ANAB플랫폼이 있으면 화학적 수정, 재료 제거와 퇴적, 표면 정밀가공, 표면 형태 통제들의 실현이 가능하다.
ANAB는 약물 및 생유착 성질의 정밀한 통제를 위해 위해 이미 바이오의료 업계에서 사용되고 있으며 보다 안전하고 효과적인 주입 가능한 의료 기기들의 발전을 실현한다. ANAB가 유리, 금속, 유기농, 반도체, 고분자 재료를 포함하는 광범위한 물질들의 표면들에 많은 도움이 될 수 있음이 지금까지 증명되어 왔다.
"세마테크와 엑소지네시스는 EUVL(Extreme Ultraviolet Lithography)의 반도체 산업의 채택을 실현하는 세마테크 프로그램의 일부로써 2013년 이후 함께 협력해왔다" 면서 "해당 파트너들 이미 EUV박피를 위한 상당한 성능 향상을 이룩했던 박막 실리콘 멤브레인의 투명성을 향상시키기 위한 ANAB기술의 가치를 증명 및 발표해왔다"고 세마테크 기업 발전의 디렉터인 에드 배쓰 박사(Ed Barth)는 전했다. 또한 엑소지네시스와 세마테크는 마스크 블랭크들의 광학적 성질들을 향상시키는데 있어 기존의 방법들 보다 우수한 수준으로 EUV마스크 기판의 정밀가공을 실현하는 ANAB프로세싱을 증명해왔다. 이러한 결과들은 2014년에 발표된 바 있다.
뉴욕, 알바니에 위치한 SUNY 폴리(SUNY Polytechnic Institute)에서 나노규모 과학과 엔지니어링을 연구하는 CBSE의 엑소지네시스 시설들과 나노테크 단지에서 현재 개발 프로젝트들이 실행 중이다. 이는 최첨단 나노전자의 품질과 신뢰도, 성능을 향상시키기는 새로운 혁신들을 빠르게 시장에 도입하고자 국제적으로 널리 인정되는 나노테크 단지의 역량과 SUNY 폴리 CBSE의 최첨단 리소스들에 영향을 미치는 전략적 연합의 결성을 통해 실현된다.
세마테크(SEMATECH)에 대해.
뉴욕, 알바니에 본사를 두고 있는 세마테크는 반도체 기기, 장비, 및 재료 제조업체들을 선두하는 국제적인 컨소시엄이다. 세마테크는 회원들과 파트너들이 중요한 산업 이행을 해결하고, 기술적 동의를 추진하며 연구를 업계 주류로 가져오고, 제조 생산성을 향상시키는 한편 위험성과 개발에서 시장으로의 도입 시간은 줄일 수 있도록 하고자 지원한다. SUNY폴리테크와의 협력을 통해 세마테크는 전 세계적인 수준의 역량, 심도 깊은 전문성, 입증된 연합 R&D 모델을 나노전자, 청정 에너지, 최첨단 재료들처럼 다양한 분야들에서 실현한다. 세마테크에 대한 정보는 해당 웹사이트(www.sematech.org)를 방문하면 확인할 수 있다.
엑소지네시스(Exogenesis)에 대해
매사추세츠주, 빌레리카에 본사를 두고 코팅을 적용하지 않고 표면들을 수정과 통제하기 위한 수 개의 가속화된 입자 빔 프로세싱 기술들을 개발해온 엑소지네시스는 사적 소유의 벤처 캐피탈의 후원을 받고 있다. 당사의 특허 가속 중림 원자 빔(ANAB)과 가스 클러스터 이온 빔(GCIB)기술들은 광범위한 생의학, 광학, 반도체 재료들의 표면수정 및 통제에 사용된다. 엑소지네시스에 대한 정보는 해당 웹페이지(www.exogenesis.us)에서 확인할 수 있다.
